電科裝備下屬紅太陽光電公司自主研制的國內(nèi)首臺疊舟等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備，近日成功發(fā)貨。

 

 

 

作為光伏電池制備的一大重要工序，常規(guī)PECVD鍍膜設備的市場競爭日趨激烈，主流設備各方面性能大同小異，急需高產(chǎn)能、低成本、高穩(wěn)定性、高工藝品質(zhì)的新設備機型打破市場競爭格局。

 

紅太陽光電基于15年的光伏裝備領域經(jīng)驗，以自研PECVD鍍膜設備為基礎，對設備產(chǎn)能、成本、能耗、穩(wěn)定性、工藝可靠性等深研一步，跳出傳統(tǒng)的單管單層舟設計思路，推出新型大管徑高產(chǎn)能疊舟PECVD鍍膜設備。

 

據(jù)介紹，該設備打破市面常規(guī)設備反應室結構，創(chuàng)新采用雙舟疊放設計，單管載片量大幅提升，反應室的空間利用率提升至50%。